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文献
J-GLOBAL ID:200902289164590838   整理番号:09A0783155

集積化触覚センサ用NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数の低減

Reduction of Temperature Coefficient of Resistance of NiCr-Gauge-Thin-Film for Intergraded Tactile Sensor
著者 (9件):
橘弘人
(大阪大)
釜鳴志郎
(大阪大)
松浦宏俊
(大阪大)
寒川雅之
(大阪大)
金島岳
(大阪大)
奥山雅則
(大阪大)
山下馨
野田実
野間春生
(ATR)

資料名:
電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)

巻: PHS-09  号: 16-42  ページ: 97-102  発行年: 2009年07月23日 
JST資料番号: L2897B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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