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文献
J-GLOBAL ID：200902289213402244
整理番号：07A0029868
電気負性プラズマ鞘中の電場分布
Distribution of electric field in the sheath of an electronegative plasma
TAKIZAWA K.
(Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Nagoya Univ., Nagoya 464-8603, JPN)
,
KONO A.
(Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Nagoya Univ., Nagoya 464-8603, JPN)
,
SASAKI K.
(Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Nagoya Univ., Nagoya 464-8603, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 90 号： 1 ページ： 011503-011503-3 発行年： 2007年01月01日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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