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J-GLOBAL ID：200902289714587104 整理番号：04A0113616

高アスペクト比のマイクロ部品とマイクロシステムの精密製造へのLIGA技術の応用

Applications of LIGA technology to precision manufacturing of high-aspect-ratio micro-components and -systems: a review

著者 (2件)：

MALEK C K

(Lab. Physique et Metrologie des Oscillateurs (LPMO)-CNRS, Besancon, FRA)

SAILE V

(Univ. Karlsruhe, Karlsruhe, DEU)

資料名：

Microelectronics Journal (Microelectronics Journal)

巻： 35 号： 2 ページ： 131-143 発行年： 2004年02月
JST資料番号： A0186A ISSN： 0026-2692 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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