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文献
J-GLOBAL ID：200902289748032535
整理番号：05A0334825
内部反射偏光解析法に基づく二次元膜厚の測定
Two-dimensional thickness measurements based on internal reflection ellipsometry.
OTSUKI Soichi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Takamatsu, JPN)
,
TAMADA Kaoru
(AIST, Ibaraki, JPN)
,
WAKIDA Shin-ichi
(AIST, Osaka, JPN)
資料名：
Applied Optics
(Applied Optics)
巻： 44 号： 8 ページ： 1410-1415 発行年： 2005年03月10日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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