前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902290270462812
整理番号：07A0117242
格別な機械的性質を持つ新スピンオン酸化カルボシランLow-k誘電材料
New Spin-On Oxycarbosilane Low-k Dielectric Materials With Exceptional Mechanical Properties
GERAUD Dubois
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
MAGBITANG Teddie
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
VOLKSEN Willi
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
SIMONYI Eva. E.
(IBM TJ Watson Res. Lab., NY)
,
MILLER Robert D.
(IBM Almaden Res. Center, CA)
資料名：
Proceedings of the IEEE 2005 International Interconnect Technology Conference
(Proceedings of the IEEE 2005 International Interconnect Technology Conference)
ページ： 226-228 発行年： 2005年
JST資料番号： K20050080 ISBN： 0-7803-8752-X 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。