文献
J-GLOBAL ID:200902290518982940
整理番号:03A0393108
流速変調エピタキシーによって作製したAlN/GaNヘテロ構造および超格子の平坦な表面と界面
Flat Surfaces and Interfaces in AlN/GaN Heterostructures and Superlattices Grown by Flow-Rate Modulation Epitaxy
著者 (2件):
HIROKI M
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
,
KOBAYASHI N
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
42
号:
4B
ページ:
2305-2308
発行年:
2003年04月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)