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文献
J-GLOBAL ID：200902290629757147
整理番号：03A0351878
弾性表面波モータのナノメータステッピング駆動
Nanometer Stepping Drives of Surface Acoustic Wave Motor
SHIGEMATSU T
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
KURIBAYASHI(KUROSAWA) M
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
ASAI K
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kyoto, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 50 号： 4 ページ： 376-385 発行年： 2003年04月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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