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文献
J-GLOBAL ID：200902290637090801
整理番号：06A0047839
低温触媒CVD装置の開発-有機ELディスプレイ用水蒸気バリア膜の形成-
Development of Catalytic Chemical Vapor Deposition Systems for Flexible Organic Light-Emitting Diode Displays
部家彰
(石川県工試)
,
高野昌宏
(石川県工試)
,
米沢保人
(石川県工試)
,
南川俊治
(石川県工試)
,
仁木敏一
(石川製作所)
,
室井進
(石川製作所)
,
南茂平
(石川製作所)
,
大薗哲郎
(北陸先端科学技術大学院大)
,
増田淳
(北陸先端科学技術大学院大)
,
梅本宏信
(北陸先端科学技術大学院大)
,
松村英樹
(北陸先端科学技術大学院大)
資料名：
石川県工業試験場研究報告
(Report of the Industrial Research Institute of Ishikawa)
号： 54 ページ： 17-22 発行年： 2005年12月01日
JST資料番号： F0740A ISSN： 0289-8934 CODEN： IKSHE3 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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