文献
J-GLOBAL ID:200902290672245150
整理番号:05A0264472
プラズマエッチングによる天然ダイヤモンドマイクロレンズの作製
Fabrication of natural diamond microlenses by plasma etching
著者 (7件):
CHOI H W
(Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR)
,
GU E
(Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR)
,
LIU C
(Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR)
,
GRIFFIN C
(Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR)
,
GIRKIN J M
(Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR)
,
WATSON I M
(Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR)
,
DAWSON M D
(Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
23
号:
1
ページ:
130-132
発行年:
2005年01月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)