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文献
J-GLOBAL ID：200902290840187489
整理番号：06A0499390
動的モードAFMの光ビーム偏向検出システムにおける干渉効果
The interference effect in an optical beam deflection detection system of a dynamic mode AFM
HUANG Qiang-Xian
(Hefei Univ. Technol., Hefei, CHN)
,
HUANG Qiang-Xian
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
FEI Ye-Tai
(Hefei Univ. Technol., Hefei, CHN)
,
GONDA Satoshi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
MISUMI Ichiko
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
SATO Osamu
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
KEEM Taeho
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
KUROSAWA Tomizo
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
資料名：
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻： 17 号： 6 ページ： 1417-1423 発行年： 2006年06月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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