文献
J-GLOBAL ID:200902291515898650
整理番号:05A0991827
GaAs上のソフトなナノインプリント用の効率的なアミノシランの付着促進剤
Efficient aminosilane adhesion promoter for soft nanoimprint on GaAs
著者 (4件):
GALLO Pascal
(LAAS-CNRS, Lab. d’Analyse et d’Architecture des Systemes, 7 avenue du Colonel Roche, 31077 Toulouse, FRA)
,
VIALLET Benoit
(LAAS-CNRS, Lab. d’Analyse et d’Architecture des Systemes, 7 avenue du Colonel Roche, 31077 Toulouse, FRA)
,
DARAN Emmanuelle
(LAAS-CNRS, Lab. d’Analyse et d’Architecture des Systemes, 7 avenue du Colonel Roche, 31077 Toulouse, FRA)
,
FONTAINE Chantal
(LAAS-CNRS, Lab. d’Analyse et d’Architecture des Systemes, 7 avenue du Colonel Roche, 31077 Toulouse, FRA)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
87
号:
18
ページ:
183111-183111-2
発行年:
2005年10月31日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)