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文献
J-GLOBAL ID：200902291531772357
整理番号：05A1043695
セリア,二酸化けい素および窒化けい素表面間の界面反応性 有機添加物の効果
Interfacial Reactivity Between Ceria and Silicon Dioxide and Silicon Nitride Surfaces Organic Additive Effects
CARTER Phillip W.
(Cabot Microelectronics, Illinois, USA)
,
JOHNS Timothy P.
(Cabot Microelectronics, Illinois, USA)
資料名：
Electrochemical and Solid-State Letters
(Electrochemical and Solid-State Letters)
巻： 8 号： 8 ページ： G218-G222 発行年： 2005年
JST資料番号： W1290A ISSN： 1099-0062 CODEN： ESLEF6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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