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文献
J-GLOBAL ID：200902291550955780
整理番号：08A1126511
集束イオンビームを用いた電子光学系輪帯瞳用アパーチャの開発
Development of Apertures for Annular Pupil in Electron Optics by Focused Ion Beam
松谷貴臣
(大阪電通大)
,
生田孝
(大阪電通大)
,
藤原誠
(大阪産業大)
,
田中武雄
(大阪産業大)
,
志水一平
(大阪産業振興機構)
,
田屋昌樹
(大阪大 大学院工学研究科)
,
高井義造
(大阪大 大学院工学研究科)
,
川崎忠寛
(名古屋大)
,
市橋幹雄
(名古屋大)
資料名：
プラズマ応用と複合機能材料
(Conference Journal of the IAPS Meeting)
巻： 16 ページ： 139-140 発行年： 2007年03月
JST資料番号： L6242A ISSN： 1340-9557 CODEN： POFZFU 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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