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文献
J-GLOBAL ID：200902291769308080
整理番号：03A0778886
種々の入射角のレーザ干渉法による薄膜の厚み測定
Measurement of thickness of a thin film by means of laser interference at many incident angles
ISHIKAWA K
(Fukui Univ., Fukui, JPN)
,
YAMANO H
(Fukui Univ., Fukui, JPN)
,
KAGAWA K
(Fukui Univ., Fukui, JPN)
,
ASADA K
(Fukui Univ., Fukui, JPN)
,
IWATA K
(Univ. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
,
UEDA M
(Fukui Univ., Fukui, JPN)
資料名：
Optics and Lasers in Engineering
(Optics and Lasers in Engineering)
巻： 41 号： 1 ページ： 19-29 発行年： 2004年01月
JST資料番号： A0602B ISSN： 0143-8166 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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