文献
J-GLOBAL ID:200902291896311758
整理番号:06A0574081
重合体上に原子層堆積により成長したAl2O3ガス拡散障壁のCa試験
Ca test of Al2O3 gas diffusion barriers grown by atomic layer deposition on polymers
著者 (5件):
CARCIA P. F.
(DuPont Res. and Dev., Experimental Station, Wilmington, Delaware 19880-0356)
,
MCLEAN R. S.
(DuPont Res. and Dev., Experimental Station, Wilmington, Delaware 19880-0356)
,
REILLY M. H.
(DuPont Res. and Dev., Experimental Station, Wilmington, Delaware 19880-0356)
,
GRONER M. D.
(Dep. of Chemistry and Biochemistry, Univ. of Colorado, Boulder, Colorado 80309)
,
GEORGE S. M.
(Dep. of Chemistry and Biochemistry, Univ. of Colorado, Boulder, Colorado 80309 and Dep. of Chemical and Biological ...)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
89
号:
3
ページ:
031915-031915-3
発行年:
2006年07月17日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)