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文献
J-GLOBAL ID：200902292060618472
整理番号：08A0569164
パルス放電プラズマCVD法で蒸着したDLC膜の光電導度
Photoconductivity of DLC film deposited by pulsed discharge plasma CVD
KAWAI S.
(DENSO CORP. Res. Laboratories, Komenoki, Nissin, Aichi 470-0111, JPN)
,
SHINAGAWA T.
(Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Kasugai, Aichi 487-8501, JPN)
,
NODA M.
(Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Kasugai, Aichi 487-8501, JPN)
,
UMENO M.
(Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Kasugai, Aichi 487-8501, JPN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 17 号： 4-5 ページ： 676-679 発行年： 2008年04月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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