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文献
J-GLOBAL ID:200902292133116110   整理番号:06A0508974

反応剤供給順序への原子層エピタクシーにより成長させたZnO薄膜の電気特性の依存性

Dependence of the electrical properties of the ZnO thin films grown by atomic layer epitaxy on the reactant feed sequence
著者 (2件):
LEE Chongmu
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Inha Univ., 253 Yonghyeon-dong, Incheon 402-751, KOR)
LIM Jongmin
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Inha Univ., 253 Yonghyeon-dong, Incheon 402-751, KOR)

資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

巻: 24  号:ページ: 1031-1035  発行年: 2006年07月 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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