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文献
J-GLOBAL ID：200902292133116110
整理番号：06A0508974
反応剤供給順序への原子層エピタクシーにより成長させたZnO薄膜の電気特性の依存性
Dependence of the electrical properties of the ZnO thin films grown by atomic layer epitaxy on the reactant feed sequence
LEE Chongmu
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Inha Univ., 253 Yonghyeon-dong, Incheon 402-751, KOR)
,
LIM Jongmin
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Inha Univ., 253 Yonghyeon-dong, Incheon 402-751, KOR)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 24 号： 4 ページ： 1031-1035 発行年： 2006年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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