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文献
J-GLOBAL ID：200902292171275019
整理番号：04A0712670
3Dミクロ構造のためのエキシマレーザーマイクロマシニング
Excimer laser micromachining for 3D microstructure
CHOI K H
(Cheju National Univ., Jeju, KOR)
,
MEIJER J
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
MASUZAWA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KIM D-H
(Cheju National Univ., Jeju, KOR)
資料名：
Journal of Materials Processing Technology
(Journal of Materials Processing Technology)
巻： 149 号： 1/3 ページ： 561-566 発行年： 2004年06月10日
JST資料番号： H0650A ISSN： 0924-0136 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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