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J-GLOBAL ID：200902292401109911 整理番号：03A0509046

原子間力顕微鏡(AFM)を用いて解析したレジスト微細パターンの凝集性

Cohesion Property of Resist Micro Pattern Analyzed by Using Atomic Force Microscope (AFM)

著者 (1件)：

KAWAI A

(Nagaoka Univ. Technol. Niigata, JPN)

資料名：

Journal of Photopolymer Science and Technology (Journal of Photopolymer Science and Technology)

巻： 16 号： 3 ページ： 381-386 発行年： 2003年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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