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文献
J-GLOBAL ID：200902292520700342
整理番号：06A0599022
ミクロン間隔をもつデバイスの電気破壊現象
Electrical breakdown phenomena for devices with micron separations
CHEN Ching-Heng
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
YEH J Andrew
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
WANG Pei-Jen
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 16 号： 7 ページ： 1366-1373 発行年： 2006年07月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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