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文献
J-GLOBAL ID：200902292545532665
整理番号：05A0376072
ZnOをベースにした薄膜と超格子のパルスレーザ蒸着
Pulsed laser deposition of thin films and superlattices based on ZnO
OHTOMO Akira
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
TSUKAZAKI Atsushi
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Semiconductor Science and Technology
(Semiconductor Science and Technology)
巻： 20 号： 4 ページ： S1-S12 発行年： 2005年04月
JST資料番号： E0503B ISSN： 0268-1242 CODEN： SSTEET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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