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文献
J-GLOBAL ID：200902292921445701
整理番号：06A0896426
発光光量測定による二重周波数容量結合フォトレジスト灰プラズマにおける中性種密度の特性評価
Characterization of neutral species densities in dual frequency capacitively coupled photoresist ash plasmas by optical emission actinometry
WORSLEY M. A.
(Dep. of Chemical Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305)
,
BENT S. F.
(Dep. of Chemical Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305)
,
FULLER N. C. M.
(Semiconductor Res. and Dev. Center, IBM Res. Div., Yorktown Heights, New York 10598)
,
DALTON T.
(Semiconductor Res. and Dev. Center, IBM Res. Div., Yorktown Heights, New York 10598)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 100 号： 8 ページ： 083301-083301-10 発行年： 2006年10月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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