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J-GLOBAL ID：200902293267223423 整理番号：05A1023657

SiC単結晶膜中欠陥の高分解能非破壊観察法の開発

Development of high-resolution and non-destructive observation techniques on SiC epilayers

著者 (4件)：

鎌田功穂

(電力中研材料科研)

土田秀一

(電力中研材料科研)

三柳俊之

(電力中研材料科研)

中村智宣

(電力中研材料科研)

資料名：

電力中央研究所材料科学研究所研究報告 (CRIEPI Report. Q (Central Research Institute of Electric Power Industry))

号： Q04023 ページ： 23P 発行年： 2005年09月
JST資料番号： L5635A 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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