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文献
J-GLOBAL ID：200902293306074619
整理番号：06A0510053
二極パルスを持つプラズマ利用イオン注入技術によって堆積させたダイヤモンド状炭素膜の熱安定性
Thermal stability of diamond-like carbon films deposited by plasma based ion implantation technique with bipolar pulses
CHOI Junho
(Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 2266-98 ...)
,
MIYAGAWA Soji
(Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 2266-98 ...)
,
NAKAO Setsuo
(Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 2266-98 ...)
,
IKEYAMA Masami
(Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 2266-98 ...)
,
MIYAGAWA Yoshiko
(Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 2266-98 ...)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 15 号： 4-8 ページ： 948-951 発行年： 2006年04月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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