文献
J-GLOBAL ID:200902293321790592
整理番号:03A0737450
スクリーン印刷によるシリコン基板上へのBa(Ti,Zr)O3厚膜の作製
Preparation of Ba(Ti,Zr)O3 Thick Films on Silicon Substrate by Screen Printing
著者 (4件):
FUTAKUCHI T
(Toyama Industrial Technol. Center, Toyama, JPN)
,
SAKAI Y
(Toyama Industrial Technol. Center, Toyama, JPN)
,
FUJITA N
(Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN)
,
ADACHI M
(Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
42
号:
9B
ページ:
5904-5907
発行年:
2003年09月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)