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文献
J-GLOBAL ID：200902293535594405
整理番号：04A0305956
RFIC用の表面不動態化高抵抗シリコン基板
Surface-Passivated High-Resistivity Silicon Substrates for RFICs
RONG B
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
BURGHARTZ J N
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
NANVER L K
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
REJAEI B
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
VAN DER ZWAN M
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
資料名：
IEEE Electron Device Letters
(IEEE Electron Device Letters)
巻： 25 号： 4 ページ： 176-178 発行年： 2004年04月
JST資料番号： B0344B ISSN： 0741-3106 CODEN： EDLEDZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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