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文献
J-GLOBAL ID：200902293606995880
整理番号：06A0497312
アダプティブ光学用の大ストロークMEMS可変ミラー
Large-Stroke MEMS Deformable Mirrors for Adaptive Optics
DAGEL Daryl J.
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
COWAN William D.
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
SPAHN Olga Blum
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
GROSSETETE Grant D.
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
GRINE Alejandro J.
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
SHAW Michael J.
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
RESNICK Paul J.
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
JOKIEL Bernhard, Jr.
(Sandia National Lab., NM, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 15 号： 3 ページ： 572-583 発行年： 2006年06月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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