文献
J-GLOBAL ID:200902294060985044
整理番号:05A0059831
多層膜の平面観察TEM試料作製するための集束イオンビームミリング使用した新方法
A new method for preparing plan-view TEM specimen of multilayered films using focused ion beam
著者 (9件):
KATO T
(Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN)
,
MUROGA T
(International Superconductivity Technol. Center, Nagoya, JPN)
,
IIJIMA Y
(Fujikura Ltd, Tokyo, JPN)
,
SAITOH T
(Fujikura Ltd, Tokyo, JPN)
,
YAMADA Y
(International Superconductivity Technol. Center, Nagoya, JPN)
,
IZUMI T
(International Superconductivity Technol. Center, Tokyo, JPN)
,
SHIOHARA Y
(International Superconductivity Technol. Center, Nagoya, JPN)
,
HIRAYAMA T
(Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN)
,
IKUHARA Y
(Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN)
資料名:
Journal of Electron Microscopy
(Journal of Electron Microscopy)
巻:
53
号:
5
ページ:
501-504
発行年:
2004年
JST資料番号:
W1384A
ISSN:
0022-0744
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)