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文献
J-GLOBAL ID：200902294312393331
整理番号：04A0314390
銅ダマシン電着用の添加剤の役割 抑制および促進効果に対する実験的研究
Role of Additives for Copper Damascene Electrodeposition Experimental Study on Inhibition and Acceleration Effects
KONDO K
(Okayama Univ., Okayama, JPN)
,
MATSUMOTO T
(Okayama Univ., Okayama, JPN)
,
WATANABE K
(Okayama Univ., Okayama, JPN)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 151 号： 4 ページ： C250-C255 発行年： 2004年
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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