文献
J-GLOBAL ID:200902294588804718
整理番号:03A0694108
位置決めステージの位置や方位の多方向干渉計による測定
Measurement by multidirectional interferometers of the position and orientation of a positioning stage.
著者 (5件):
ZHANG J
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
YAMAGUCHI T
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
IWATA K
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
KIKUTA H
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
PARK C S
(Osaka Sci. and Technol. Center, Osaka, JPN)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
42
号:
28
ページ:
5661-5669
発行年:
2003年10月01日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)