文献
J-GLOBAL ID:200902294592039708
整理番号:05A0659667
高速細孔形成エッチング
Fast pore etching
著者 (5件):
FREY S.
(Christian-Albrechts-Univ. Kiel, Kiel, DEU)
,
KEMELL M.
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
,
CARSTENSEN J.
(Christian-Albrechts-Univ. Kiel, Kiel, DEU)
,
LANGA S.
(Christian-Albrechts-Univ. Kiel, Kiel, DEU)
,
FOELL H.
(Christian-Albrechts-Univ. Kiel, Kiel, DEU)
資料名:
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻:
202
号:
8
ページ:
1369-1373
発行年:
2005年06月
JST資料番号:
D0774A
ISSN:
1862-6300
CODEN:
PSSABA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)