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文献
J-GLOBAL ID：200902294737272384
整理番号：05A0969227
基板トポグラフィーに対する裏面粒子の効果
The Effect of Backside Particles on Substrate Topography
BEARDA Twan
(IMEC, Leuven, BEL)
,
MERTENS Paul W.
(IMEC, Leuven, BEL)
,
HOLSTEYNS Frank
(IMEC, Leuven, BEL)
,
DE BISSCHOP Peter
(IMEC, Leuven, BEL)
,
COMPEN Rene
(ASML, Veldhoven, NLD)
,
VAN MEER Aschwin
(ASML, Veldhoven, NLD)
,
HEYNS Marc M.
(IMEC, Leuven, BEL)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44 号： 10 ページ： 7409-7413 発行年： 2005年10月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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