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文献
J-GLOBAL ID：200902294773075315
整理番号：07A0992591
容量結合ラジオ周波数水素放電 動特性の役割
Capacitively coupled radio-frequency hydrogen discharges: The role of kinetics
MARQUES L.
(Departamento de Fisica, Universidade do Minho, 4710-057 Braga, PRT)
,
JOLLY J.
(Lab. de Physique et Technol. des Plasmas, Ecole Polytechnique, 91128 Palaiseau Cedex, FRA)
,
ALVES L. L.
(Centro de Fisica dos Plasmas, Instituto Superior Tecnico, 1049-001 Lisboa, PRT)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 102 号： 6 ページ： 063305 発行年： 2007年09月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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