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文献
J-GLOBAL ID：200902294976898465
整理番号：05A0703514
最大位相感度同調での空気結合超音波による分解能ナノメタオーダの変位測定
Nanometer-Order Resolution Displacement Measurement System by Air-Coupled Ultrasonic Wave Introducing Maximum Phase-Sensitivity Tuning
SASAKI Katsuhiro
(Akita Univ., Akita, JPN)
,
NISHIHIRA Morimasa
(Akita Univ., Akita, JPN)
,
IMANO Kazuhiko
(Akita Univ., Akita, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44 号： 6B ページ： 4411-4416 発行年： 2005年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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