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文献
J-GLOBAL ID：200902295248971926
整理番号：04A0257981
弾性表面波リニアモータの摩擦表面へのセラミック薄膜コーティングの効果
Effects of Ceramic Thin Film Coating on Friction Surfaces for Surface Acoustic Wave Linear Motor.
NAKAMURA Y
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
KURIBAYASHI KUROSAWA M
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
SHIGEMATSU T
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
ASAI K
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kyoto, JPN)
資料名：
Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium
(Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 2003 号： Vol.2 ページ： 1766-1769 発行年： 2003年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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