文献
J-GLOBAL ID:200902295428131470
整理番号:03A0880086
Ar/N2混合気体中の低電子温度ECRプラズマの数値的研究
Numerical investigation of a low-electron-temperature ECR plasma in Ar/N2 mixtures
著者 (4件):
MUTA H
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KOGA M
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
ITAGAKI N
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KAWAI Y
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
171
号:
1/3
ページ:
157-161
発行年:
2003年07月01日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)