前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902296657247659
整理番号：07A0666493
コバルトシリサイド化に及ぼすプラズマ損傷の影響
Impact of plasma damage on cobalt silicidation
KIMURA T.
(Semiconductor Technol. Dev. Group, Semiconductor Business Unit, Sony Corp., 4-14-1 Asahi-cho, Atsugi-shi, Kanagawa ...)
,
KUGIMIYA K.
(Semiconductor Technol. Dev. Group, Semiconductor Business Unit, Sony Corp., 4-14-1 Asahi-cho, Atsugi-shi, Kanagawa ...)
,
OHCHI T.
(Semiconductor Technol. Dev. Group, Semiconductor Business Unit, Sony Corp., 4-14-1 Asahi-cho, Atsugi-shi, Kanagawa ...)
,
FUKE K.
(Semiconductor Technol. Dev. Group, Semiconductor Business Unit, Sony Corp., 4-14-1 Asahi-cho, Atsugi-shi, Kanagawa ...)
,
KATAOKA T.
(Semiconductor Technol. Dev. Group, Semiconductor Business Unit, Sony Corp., 4-14-1 Asahi-cho, Atsugi-shi, Kanagawa ...)
,
TATSUMI T.
(Semiconductor Technol. Dev. Group, Semiconductor Business Unit, Sony Corp., 4-14-1 Asahi-cho, Atsugi-shi, Kanagawa ...)
,
KAMIDE Y.
(Semiconductor Technol. Dev. Group, Semiconductor Business Unit, Sony Corp., 4-14-1 Asahi-cho, Atsugi-shi, Kanagawa ...)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 25 号： 4 ページ： 1068 発行年： 2007年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。