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文献
J-GLOBAL ID：200902296700935815
整理番号：03A0449537
酢酸,硝酸およびりん酸からなる半導体級エッチング液中の塩化物および硫酸塩の定量
Determination of chloride and sulfate in semiconductor-grade etchants comprised of acetic acid, nitric acid and phosphoric acid
VANATTA L E
(Air Liquide-Balazs Analytical Serv., TX, USA)
,
COLEMAN D E
(MST-C, PA, USA)
,
WOODRUFF A
(Dionex Corp., CA, USA)
資料名：
Journal of Chromatography A
(Journal of Chromatography A)
巻： 997 号： 1/2 ページ： 269-278 発行年： 2003年05月16日
JST資料番号： C0278B ISSN： 0021-9673 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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