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文献
J-GLOBAL ID：200902296995630905
整理番号：09A1295061
分離キャパシタの低温埋め込みに使う(Ba,Sr)TiO3膜の電気的性質に及ぼすUV(紫外線)支援RTA(急速熱アニーリング)の効果
Effect of UV-Assisted RTA on the Electrical Properties of (Ba,Sr)TiO3 Films for Low Temperature Embedding of Decoupling Capacitor
CHO Kwang-Hwan
(Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
CHO Kwang-Hwan
(Hanyang Univ., Seoul, KOR)
,
KANG Min-Gyu
(Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
KANG Chong-Yun
(Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
YOON Seok-Jin
(Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
LEE YoungPak
(Hanyang Univ., Seoul, KOR)
,
KIM Jong-Hee
(Korea Inst. of Ceramic Engineering and Technol., Seoul, KOR)
,
CHO Bong-Hee
(Univ. Suwon, Kyunggi-do, KOR)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 156 号： 12 ページ： G230-G232 発行年： 2009年
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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