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文献
J-GLOBAL ID：200902297624997373
整理番号：04A0357214
すれすれ入射電子誘起X線放射分光によるLaSix/Si(100)の熱酸化の研究
Study of thermal oxidation of LaSix/Si(100) by grazing incidence electron-induced X-ray emission spectroscopy
KASHIWAKURA T
(Utsunomiya Univ., Tochigi, JPN)
,
NAKAI S
(Utsunomiya Univ., Tochigi, JPN)
資料名：
Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena
(Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena)
巻： 135 号： 1 ページ： 47-52 発行年： 2004年03月
JST資料番号： D0266C ISSN： 0368-2048 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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