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文献
J-GLOBAL ID:200902297624997373   整理番号:04A0357214

すれすれ入射電子誘起X線放射分光によるLaSix/Si(100)の熱酸化の研究

Study of thermal oxidation of LaSix/Si(100) by grazing incidence electron-induced X-ray emission spectroscopy
著者 (2件):
KASHIWAKURA T
(Utsunomiya Univ., Tochigi, JPN)
NAKAI S
(Utsunomiya Univ., Tochigi, JPN)

資料名:
Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena  (Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena)

巻: 135  号:ページ: 47-52  発行年: 2004年03月 
JST資料番号: D0266C  ISSN: 0368-2048  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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