文献
J-GLOBAL ID:200902297695467855
整理番号:06A0477821
300mm FAB半導体製造のためのシミュレーションの最適化
Optimization of a Simulation for 300mm FAB Semiconductor Manufacturing
著者 (3件):
PARK DongSik
(SungKyunKwan Univ., Kyunggi-do, KOR)
,
HAN Youngshin
(Sungkyul Univ., Gyeonggi-do, KOR)
,
LEE Chilgee
(SungKyunKwan Univ., Kyunggi-do, KOR)
資料名:
Lecture Notes in Computer Science
(Lecture Notes in Computer Science)
巻:
3984
ページ:
260-268
発行年:
2006年
JST資料番号:
H0078D
ISSN:
0302-9743
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)