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文献
J-GLOBAL ID：200902298208370660
整理番号：03A0506385
フーリエ解析と自己相関関数によるレジストパターンのラインエッジ粗さの特性評価
Characterization of Line Edge Roughness in Resist Patterns by Using Fourier Analysis and Auto-Correlation Function
YAMAGUCHI A
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
KOMURO O
(Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 42 号： 6B ページ： 3763-3770 発行年： 2003年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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