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文献
J-GLOBAL ID：200902298320346186
整理番号：05A0588838
原子間力顕微鏡によって解析したArFエキシマレジスト表面上のナノ規模気泡の凝縮挙動
Condensation Behavior of Nanoscale Bubbles on ArF Excimer Resist Surface Analyzed by Atomic Force Microscope
KAWAI Akira
(Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
資料名：
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 18 号： 3 ページ： 349-354 発行年： 2005年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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