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文献
J-GLOBAL ID:200902299030343902   整理番号:07A0501314

XPSスペクトルにおけるダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜のアモルファス性の解析

著者 (6件):
鷹林将
(広島大 大学院)
元光邦彦
(広島大 大学院)
岡本圭司
(広島大 大学院)
岡本圭司
(トーヨーエイテック)
中谷達行
(トーヨーエイテック)
高萩隆行
(広島大 大学院)

資料名:
表面技術協会講演大会講演要旨集

巻: 115th  ページ: 198-199  発行年: 2007年02月22日 
JST資料番号: Y0050A  ISSN: 0917-2947  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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