文献
J-GLOBAL ID:200902299307963202
整理番号:08A1104132
インプリントリソグラフィーにおける残留層厚均一化のための容量均一化型の作製
Fabrication of Capacity-Equalized Mold for Homogenizing Residual Layer Thickness in Imprint Lithography
著者 (2件):
HIROSHIMA Hiroshi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
HIROSHIMA Hiroshi
(JST-CREST, Saitama, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
47
号:
10 Issue 1
ページ:
8098-8100
発行年:
2008年10月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)