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J-GLOBAL ID：200902299606209620 整理番号：03A0443015

レーザアニールによるSi薄膜溶融,結晶化過程の実時間観測と結晶の高品質化

In-situ Observation of Laser-induced Melting and Resolidification Dynamics of Si Thin Films

著者 (4件)：

波多野睦子

(日立中研)

田井光春

(日立中研)

芝健夫

(日立中研)

GRIGOROPOULOS C P

(Univ. Calfornia, CA, USA)

資料名：

表面科学 (JSSSJ)

巻： 24 号： 6 ページ： 375-382 発行年： 2003年06月10日
JST資料番号： F0940B ISSN： 0388-5321 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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