文献
J-GLOBAL ID:200902299834311752
整理番号:07A1055979
銅めっき薄膜機械特性の微細組織依存性
Effect of Micro Texture of Electroplated Copper Thin Films on Their Mechanical Properties
著者 (3件):
玉川欣治
(東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター)
,
作谷和彦
(東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター)
,
三浦英生
(東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター)
資料名:
材料
(Journal of the Society of Materials Science, Japan)
巻:
56
号:
10
ページ:
907-912 (J-STAGE)
発行年:
2007年
JST資料番号:
F0385A
ISSN:
0514-5163
CODEN:
ZARYA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)