文献
J-GLOBAL ID:201002002251143809
整理番号:80A0122860
高感度ポジ電子線レジストとしての交差結合ポリ(2,2,2-トリクロロエチルメタクリレート)
Crosslinked poly(2,2,2-trichloroethyl methacrylate) as a highly sensitive positive electron resist.
著者 (1件):
TADA T
(VLSI Technology Research Assoc., Kawasaki)
資料名:
J Electrochem Soc
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
126
号:
9
ページ:
1635-1636
発行年:
1979年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
0013-4651
CODEN:
JESOA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)