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文献
J-GLOBAL ID：201002007917719842
整理番号：80A0111861
高速バイポーラ素子の分離用高圧酸化
High pressure oxidation for isolation of high speed bipolar devices.
TSUKAMOTO K
(Mitsubishi Electric Corp., Itami)
,
AKASAKA Y
(Mitsubishi Electric Corp., Itami)
,
MIYOSHI Y
(Mitsubishi Electric Corp., Itami)
,
TSUBOUCHI N
(Mitsubishi Electric Corp., Itami)
,
HORIBA Y
(Mitsubishi Electric Corp., Itami)
,
KIJIMA K
(Mitsubishi Electric Corp., Itami)
,
NAKATA H
(Mitsubishi Electric Corp., Itami)
資料名：
Tech Dig Int Electron Devices Meet
(International Electron Devices Meeting)
巻： 1979 ページ： 340-343 発行年： 1979年
JST資料番号： C0829B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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