文献
J-GLOBAL ID:201002010420289357
整理番号:79A0232646
低コスト薄膜超小形回路技術
A low-cost thin-film microcircuit process.
著者 (3件):
KERNS D V Jr
,
KULL J M
,
RUWE V W
資料名:
IEEE Trans Components Hybrids Manuf Technol
(IEEE Transactions on Components, Hybrids, and Manufacturing Technology)
巻:
2
号:
2
ページ:
218-221
発行年:
1979年
JST資料番号:
H0255B
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)